ISO 14644-1:2015(E)洁净室及其相关受控环境,第一部分——空气洁净度等级
ISO洁净室分级标准
占用状态:应在三种占用状态(空态、静态和动态)的一种或更多情况下,根据洁净室或洁净区空气里粒子浓度来划分空气洁净度等级。
粒子粒径:当一个或超过一个的粒径阈值(下限)处于从≥0,1μm到≥5μm的范围,可用来判定根据粒子浓度得出的空气洁净度分级。
ISO等级序数:根据粒子浓度划分空气洁净度的级别应以ISO等级序数N来表示。表格1规定了每种被考虑粒径的最大允许粒子浓度。
在表格1里,不同阈值粒径的粒子数量浓度不能反应空气里的实际粒子粒径和数量分布,也不可作为分级的唯一标准。
表格1 - 根据粒子浓度划分空气洁净度的ISO等级
ISO等级序数 (N) |
大于等于表中被考虑粒径的粒子最大允许浓度(个/立方米) a |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
1 |
10 b |
d |
d |
d |
d |
e |
2 |
100 |
24 b |
10 b |
d |
d |
e |
3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 b |
d |
e |
4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 b |
e |
5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
d,e,f |
6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
7 |
c |
c |
c |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
8 |
c |
c |
c |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
9 g |
c |
c |
c |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
a:此表中所有浓度是累积起来的,例如:ISO等级5,0.3μm之10,200个粒子包含所有大于等于此 粒径的粒子。 b:这些浓度需要大的取样体积。可以应用顺序采样法;见附录D。 c:极高粒子浓度的浓度限值并不适用于此表格范围。 d:低浓度粒子的取样和统计局限性与分级不适宜。 e:由于取样系统存在潜在的粒子损失,对于低浓度和粒径大于1μm的粒子来说,样品收集局限性 与分级不适宜。 f:为了详细说明与ISO等级5有关的粒径,可以改编并使用与至少一个粒径有关的大粒子描述符M。 (见C.7) g:此等级仅适用于运行中状态。 |
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