洁净室之间的压差应当多少合适？无压差可以吗？
  GB 50073-2013(洁净厂房设计规范)对洁净室的压差控制有如下规定：洁净室与周围空间必须维持一定的压差，并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa,洁净区与室外的压差应不小于10Pa。
  在相同级别的洁净区内不同功能区域内进行的操作有产生交叉污染潜在风险或储存的物料或器具有受到其他功能区域的污染的潜在风险时，应保持一定的压差，以防止污染和交叉污染的发生。设置相同洁净度级别的不同功能区域的压差时，企业应对整个区域内的压差数值进行全面计算评估，一般可以小于不同洁净级别的压差。同时还应对关键区域的气流组织形式进行研究，以防压差梯度不合理或过大而产生污染或交叉污染。
  因此可见，洁净室与周围的可见必须有一定的压差，具体压差多少合适应工具行业特点与环境进行设计，一般在5Pa-15Pa之间。