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8 化学物料供应系统
发布者:上海天澜净化工程 时间:2019-08-05

8.1.1 本条指明化学物料的范围。

8.2.1~8.2.4 条文对化学物料储存空间大小、储存设施作了规定,特别为了防止意外发生,参考《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472,对隔堤的高度等作了规定。

8.3.1、8.3.2 条文指明化学物料宜用的管材、管件。

8.3.3 为防非金属管破损,必须用套管。

8.3.4 管道清洗时为避免损坏附件,必须卸下附件再清洗。

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