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附录G 洁净室气密性检测方法
发布者:上海天澜净化工程 时间:2019-08-05

附录G 洁净室气密性检测方法

G.1 原 理

G.1.1 保持室内为正压或负压均能满足检验要求,但条件允许时,负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验。

G.1.2 可按以下方法进行检测:
1 压力衰减法
使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系统,观察压力随时间衰减的情况,记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间,即为测量室内正压或负压的半衰期。
2 恒压法
使室内达到某一正压,同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压,使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。

G.2 压力衰减法

G.2.1 测试系统如图G.2.1所示。

 

G.2.2 可按以下步骤进行检测
1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。 
2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管(或排风管)上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状。
3 开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力(压力计量程至少为测试压力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa),压力稳定后,停止送风,关闭送风阀门。
4 或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严,应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风,使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后,停止排风,关闭排风气密阀门。
5 从停上送(排)风起,记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。
6 测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态。
7 如果需要进行重复测试,20min后进行。
8 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

G.2.3 检测报告应包括以下内容:
1 检测条件,包括室内温度等。
2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度;所测洁净室压力、温度的动态变化;检测持续的时间。
3 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1/2时的时间内压力衰减率;所测洁净室围护结构严密性的评价。

G.3 恒 压 法

G.3.1 测试系统如图G.3.1所示。

 

G.3.2 可按以下步骤进行检测:
1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1℃)。 
2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管(或排风管)上的阀门,如果风管上无阀或阀不严,应在回风口(或排风口)上用塑料膜加肓板的方法封住风口。
3 开启送风,使室内压力上升至500Pa,停止送风,关闭送风阀门。
通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气,通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量,以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数,此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min,取平均值。
4 反之关闭送风阀,开启排风,当室内压力下降至-500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量,此数即漏泄量。
5 测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态。
6 如果需要进行重复测试,20min后进行。
7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。

G.3.3 检测报告应包括以下内容:
1 检测条件,包括室内温度等。
2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度;室内温度的动态变化;漏泄量的动态变化。
3 检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率;所测洁净室围护结构严密性的评价。

G.4 安全要求

G.4.1 应制定防范预案。

G.4.2 必须对被检验室内的温度进行监测。

G.4.3 恒压法测试持续时间不宜太长。

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