8 给水排水设计
8．1 一般规定

8．1．1 洁净厂房内的管道敷设方式会对洁净室的空气洁净度产生影响，成排布置的给水排水管道有时会对洁净室的气流流型产生影响。为此，本条要求尽量将各种给水排水管道布置在洁净室(区)外，使布置在洁净室内的管道最大限度地减少。洁净厂房经常采用下列管道布置方式：
1 设有上下技术夹层或技术夹道的洁净室，除洁净室内的消防水干管位于上技术夹层外，其余给水排水干管一般都位于洁净室的下技术夹层。
2 各种立管一般布置在技术竖井或技术夹道或墙板、管槽内。

8．1．2 洁净室(区)空气的温度、湿度和压力等都受到控制，基本届于恒温恒湿状态。制定本条的目的就是要确保穿过洁净室的给水排水管道不因其结露而影响洁净室的温度、湿度或洁净度。另外，如果穿过洁净室(区)的给水排水管道其表面温度若高于洁净室(区)的环境温度时，则应对该管道进行隔热保温。保温材料选择时，应确保施工和维护时保温材料脱落的粉尘对洁净室的影响最小；保温层外表面要求平整、光滑，是为了尽可减少保温层表面积灰并便于清理，宜采用镀锌铁皮等做外壳。

8．1．3 穿过洁净室(区)的管道，其穿管处的密封是保证洁净室空气参数的重要一环。密封不好或不进行密封，一方面会导致洁净室的正压风大量泄漏，造成能量浪费；另一方面，非洁净室(区)的尘粒也会顺管道缝隙进入洁净室，从而破坏洁净室的洁净环境。实践表明，采用套管方式是行之有效的。对无法设置套管的部位，应采用微孔海绵、有机硅橡胶、橡胶圈及环氧树脂冷胶等进行密封。

8．2 给 水

8．2．1 电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工，对水质、水温、水压等的要求都较为严格，水质、水温、水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障，因此，应根据不同的工艺要求设置独立给水系统。常见的系统有：纯水或超纯水系统；工艺循环冷却水系统；一般工业给水系统，热(温)纯水系统等。对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给。

8．2．2 电子工业半导体、液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品，为此，在厂房(车间)设有危险化学品储存和分配系统，考虑到操作和维护人员的安全，应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路，是为了提高供水的可靠性，确保在任何时刻都有水供应。

8．2．3 本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质、水压、水温作出的相应规定。
1 给水系统管材选用。首先，要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化，即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性。其次，要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力。
2 由于半导体制造、液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求，所以这类厂房的首层底板经常加厚，有时达到600～800mm。埋设在这些底板下的给水管道，维修和更换是较困难的，因此，埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性，另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性。需要注意的是，镀锌层是防锈层而不是防腐层，所以埋地镀锌管必须做防腐处理。在进行洁净室的给水排水设计时，应尽量避免埋地管道。
3 电子工业生产设备的冷却水，一般对电导率、TOC、pH值等提出要求，为确保生产设备循环冷却水的水质，给水管和回水管采用不锈钢管、钢塑管和塑料管是合适的；焊接钢管由于其耐腐蚀性差，容易产生锈蚀，故不宜使用在对电导率、TOC、pH值等有要求的场合。
4 阀门及配件要求与管材一致，主要是为了保证供水水质。

8．3 排 水

8．3．1 电子产品生产过程排出的生产废水因产品品种、生产工艺的不同而异，仅以半导体器件、集成电路等电子产品为例，在此类产品生产过程中排出的生产废水就有酸性废水(HF、HCl、HN03、H2SO4等)、碱性废水(NaOH、NH4OH等)、研磨废水(硅粉粒等)、废气洗涤废水、有机废水(IPA、显影液、光阻液等)等，它们的排放浓度在生产过程的各个工序也有所不同，但在电子工厂中通常都根据排出的生产废水的品种、性质、污染物浓度等设置废水处理站或废水处理装置进行处理，并达到国家排放标准或地方排放标准后排放。据调查了解，由于上述电子工厂生产废水的排放特点，目前在工程设计和实际生产实践中均采用生产废水系统、生活废水系统分别设置的方式。因此作出本条规定，并为强制性条文。

8．3．2 本条是电子工业洁净厂房给水排水设计安全卫生和维持洁净室(区)空气洁净度等级等技术指标的重要保证，必须严格执行。
对洁净室而言，当洁净室正常工作时，水封装置的主要作用是防止洁净室内的正压风通过重力排水管向外泄漏，而洁净室内的正压风向外泄漏会引起能量损失和破坏洁净环境；当洁净室非正常工作时，它可以防止管道内的有害气体或室外气进入室内，破坏洁净环境。
一般情况下，洁净室与室外的静压差为10Pa，考虑水封装置内水的蒸发损失、自虹吸损失及管道内气压变化等因素，水封深度应为50～100mm水柱并不小于50mm，这与《建筑给水排水设计规范》GB 50015关于水封的设置要求是一致的。
通气系统的作用：①排除排水管道中的有害气体；②平衡管道内的压力，保护水封装置内的水封。通气管的设置位置和高度要确保不对周围环境产生影响，必要时应考虑处理措施。

8．3．3 洁净室(区)内地漏等排水设施的设置应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073—2001中第7．3．3条的规定。

8．3．4 本条是为了从各个方面采取相应措施确保洁净室的洁净度制定的。一般洁净室内的卫生器具应采用白陶瓷或不锈钢制品，不得采用水磨石或水泥等易起尘的制品。卫生器具配件应采用镀铬或工程塑料等表面光滑、易于清洗的产品。

8．4 雨 水

8．4．1 为了减少屋面雨水聚积，减少屋面荷载并降低屋面漏水的可能性，屋面不得积水，为此制定本条规定。

8．4．2 作出本条规定，一是由于洁净厂房设备贵重，生产工艺对环境的要求严格，二是根据国内已经建成的一些电子工业洁净厂房屋面雨水排水重现期的工程实践。

8．4．4 本条规定主要是为了防止因雨水斗密封不好或雨水悬吊管漏水而影响洁净室(区)的洁净环境。

8．5 消防给水和灭火设备

8．5．1、8．5．2 本条明确规定电子工业洁净厂房必须设置消防给水系统。消防水量及系统设置除需要满足《建筑设计防火规范》GB 50016外，还应符合本规范第8．5．2条的规定。

8．5．3 目前在我国的电子工业洁净厂房设计、建造中，洁净室(区)的消防设施有的设置了自动喷水灭火系统，也有的没有设置自动喷水灭火系统；在电子工业洁净厂房中，在储存、分配或使用易燃、易爆气体、化学品的部位设有气体灭火系统。灭火实践说明：固定灭火设施——自动喷水灭火系统或气体灭火系统均为有效的灭火设施，它能及时、有效地扑灭火情。所以，为了确保洁净室(区)的安全运行，一旦出现火情时，减少经济损失，及时进行扑救，推荐在电子工业洁净厂房设计时，采用固定灭火设施——自动喷水灭火系统或气体灭火系统等。为此本条规定洁净厂房的洁净室(区)应设固定灭火设施。根据我国经济发展水平和近年电子工业洁净厂房消防设计的实践，并参照美国消防协会发布的NFPA 318《洁净室消防标准》的有关规定，作出本条规定。
1 无特殊要求的洁净室(区)设置的自动喷水灭火系统，可考虑湿式系统，这与NFPA 318及国外有关洁净室自动喷水灭火系统的选择是一致的。关于喷水强度和作用面积：我国近年建成的部分电子工业洁净厂房其喷水强度均按8L／min·m2进行设计，作用面积有的为160m2，有的为280m2；美国消防标准NFPA 318规定洁净室自动喷水灭火系统的喷水强度为8L／min·m2，作用面积为280m2；结合我国现行国家标准《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50084中的规定，本条规定自动喷水灭火系统喷水强度为8L／min·m2，作用面积为160m2。
2 据了解，目前在电子工业洁净厂房中，所有存放可燃类特种气体钢瓶的特气柜中均设有自动喷水喷头；美国消防标准NFPA 318中第2．1．2．3条规定：“存放有可燃气体钢瓶的贮柜中必须安装自动灭火喷水喷头。”

8．5．4 灭火器是扑灭初期火灾的最有效手段。据统计，60％～80％的初期火灾，是在消防队到达之前靠灭火器扑灭的。因此规定洁净厂房要按现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140设置灭火器。应注意的是，洁净室采用的灭火器不应因误喷而破坏洁净环境，也就是说避免使用各种类型的干粉灭火器同时应避免使用蛋白泡沫灭火器(该灭火器喷完后会散发出臭味)。目前大多采用C02灭火器。