2 术语 

2.0.1 洁净室 clean room
  空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 洁净区 clean zone
  空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
2.0.3 移动式洁净小室 mobile clean booth
  可整体移动位置的小型洁净室。有刚性和柔性材料围挡两类。
2.0.4 人身净化用室 room for cleaning human body
  人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5 物料净化用室 room for cleaning material
  物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.6 粒径 particle size
  给定的粒径测定仪所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。
2.0.7 悬浮粒子 airborne particle
  用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
  具有当量直径小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
  具有当量直径大于5μm的粒子。
2.0.10 粒径分布 particle size distribution
  粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
2.0.11 含尘浓度 particle concentration
  单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.12 洁净度 cleanliness
  以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
2.0.13 气流流型 air flow pattern
  对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
2.0.14 单向流 unidirectional airflow
  通过洁净室（区）整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。
2.0.15 垂直单向流 vertical unidirectional flow
  与水平面垂直的单向流。
2.0.16 水平单向流 horizontal unidirectional flow
  与水平面平行的单向流。
2.0.17 非单向流 non-unidirectional flow
  送入洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气流分布类型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
  单向流和非单向流组合的气流。
2.0.19 洁净工作区 clean working area
  除工艺特殊要求外，指洁净室内离地面高度0.8m～1.5m的区域。
2.0.20 空气吹淋室 air shower
  利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。
2.0.21 气闸室 air lock
  设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.22 传递窗 pass box
  在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧装有不能同时开启的窗扇。
2.0.23 洁净工作台 clean bench
  能够保持操作空间所需洁净度的工作台。
2.0.24 洁净工作服 clean working garment
  为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。
2.0.25 空态 as-built
  设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。
2.0.26 静态 at-rest
  设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。
2.0.27 动态 operational
  设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
2.0.28 已装过滤器检漏 installed filter system leakage test
  为确认过滤器安装良好、没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。
2.0.29 高效空气过滤器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
  在额定风量下，对粒径大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9％以上的空气过滤器。
2.0.30 超高效空气过滤器 ultra low penetration air filter (ULPA)
  在额定风量下，对粒径0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999％以上的空气过滤器。
2.0.31 纯水 purity water
  对电解质杂质含量和非电解质杂质含量均有要求的水。
2.0.32 防静电环境 antistatic environment
  能防止静电危害的特定环境，在这一环境中不易产生静电，静电产生后易于消散或消除，静电噪声难以传播。
2.0.33 表面电阻 surface resistance
  在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。
2.0.34 体积电阻 volume resistance
  在材料的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两电极间的稳态电流之商。该电流不包括沿材料表面的电流。
2.0.35 表面电阻率 surface resistivity
  在材料表面层的直流电场强度与稳态电流线密度之商。
2.0.36 体积电阻率 volume resistivity
  在材料内层的直流电场强度与稳态电流密度之商。
2.0.37 专用消防口 fire-fight access
  消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。
2.0.38 自净时间 recovery time of cleanliness
  洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级所需的时间。
2.0.39 生物洁净室 biological clean room
  洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
  悬浮在空气中的带菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
  降落在培养皿上的带菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
  每立方米空气中包括超微粒子的实测或规定浓度。U描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
  每立方米空气中实测的或规定的微粒子。M描述符不能规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。
2.0.44 工业管道 industrial pipe
  洁净厂房内，除给水排水管道和净化空调、采暖通风管道外的气体、液体管道，统称为工业管道。